标准名称：半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法

英文名称：Test methods for dynamic impedance of RF generator applied in semiconductor manufacturing plasma process

标准编号：T/CPSS 1018—2025

ICS分类号：19.08

CCS分类号：K 80

起草单位：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司、上海陛通半导体能源科技股份有限公司、肇庆市科润真空设备有限公司、广东腾胜科技创新有限公司、湘潭宏大真空技术股份有限公司、广东振华科技股份有限公司、广东汇成真空科技股份有限公司、上海邦芯半导体科技有限公司、东莞市晟鼎精密仪器有限公司、湖南玉丰真空科学技术有限公司、湖南大学

项目负责人：乐卫平（单位：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司）

执笔人：林伟群、黄永镇、张桂东

起草组成员：乐卫平、林伟群、黄永镇、张桂东、高飞、张赛谦、郭东、王佳航、汪昌州、朱建明、朱刚毅、孙桂红、梁红、陈立、潘振强、李志荣、梁洁、冼健威、李国强、汪洪亮

标准范围：

本文件规定了半导体制造等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告等技术内容。

本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积制程工艺等应用场景中，输出中心频率为400 kHz、2 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz、40.68 MHz、60 MHz，功率范围小于10 kW的半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试。

标准先进性：

该标准在测试方法体系、工程适用性和行业引领作用等方面均体现出显著先进性，填补了国内在该领域的标准空白，对提升我国半导体制造关键设备的自主可控能力具有重要意义。

首先在方法体系上，标准构建了一套完整的测试流程，包括开环控制配置、负载牵引系统构建、多频点多VSWR覆盖测试、等功率图绘制、动态阻抗系数（增益与最大梯度角）计算等关键步骤。特别是通过史密斯圆图全域布点、二维插值拟合和梯度极值分析，实现了对射频电源动态输出阻抗的高精度量化，保障了测试结果的科学性与可重复性。同时，附录B中以严谨的数学推导给出了动态阻抗系数的计算方法，为后续设备性能对比与优化提供了统一依据。

其次，该标准在工程适用性方面，标准紧密结合半导体制造现场的实际需求。测试条件充分考虑了环境温度、湿度、水冷系统、海拔高度等工业现场因素，确保测试结果具备真实工艺环境下的代表性。此外，标准考虑了不同频率（如400 kHz、2 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz、40.68 MHz、60 MHz）和功率等级（<10 kW）的广泛适用性，覆盖了当前主流射频电源产品范围，具备良好的通用性和推广价值。

最后，标准在系统稳定性优化方面提供了创新指导。附录C提出的“最佳电缆长度计算方法”将射频电源动态阻抗与等离子体动态阻抗之间的相位关系纳入考量，通过引入额外线缆长度角度的计算模型，为实际工程中因电缆长度不当导致的系统不稳定问题提供了量化解决方案。这一方法不仅填补了国内在射频传输系统稳定性调节方面的技术空白，也为设备厂商和用户提供了可操作的工程指导。

综上所述，该标准不仅在技术路径上实现了从“稳态匹配”向“动态响应”的跨越，更在测试方法、数据处理、工程适配和产业协同等方面形成了系统性创新，显著提升了我国半导体制造用射频电源测试评价的科学水平和工程能力，对支撑高端装备国产化、保障产业链安全具有重要战略价值。

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T CPSS 1018—2025_半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法.pdf